光刻胶简介

宣布时间：2020-10-21 16:05
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光刻胶简介

【提要描述】

分类：行业新闻
作者：通讯员
来源：新质料在线
宣布时间：2020-10-21 16:05
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光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混淆液体。由光引发剂、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂组成。光刻胶是一种图形转移介质，可利用光照反映后溶解度差异将掩膜国界形转移至衬底上。目前光刻胶被广泛应用于光电信息工业的精细图形线路加工制作上。是电子制造领域的要害质料之一。

　　按光波长分，光刻胶可分为紫外（300-450nm）光刻胶、深紫外（160-280nm）光刻胶、极紫外（EUV，13.5nm）光刻胶、电子束光刻胶、离子束光刻胶、X射线光刻胶等，通常来说，在使用工艺要领一致的情况下，波长越短，加工分辨率越佳。

　　凭据应用领域的差异，光刻胶又可分为印刷电路板（PCB）用光刻胶、液晶显示（LCD）用光刻胶、半导体用光刻胶和其他用途光刻胶。其中PCB光刻胶技术壁垒相对其他两类较低，而半导体光刻胶代表着光刻胶最先进的技术水平。

　　按化学结构分类；光刻胶可分为光聚合型，光剖析型，光交联型和化学放大型。光聚合型光刻胶接纳烯类单体，在光作用下发生自由基，进一步引发单体聚合，最后生成聚合物。光剖析型光刻胶，接纳含有重氮醌类化合物(DQN)质料作为感光剂，其经光照后,发生光剖析反映，可以制成正性光刻胶；光交联型光刻胶接纳聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏质料，在光的作用下，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，可以制成负性光刻胶。在半导体集成电路光刻技术开始使用深紫外（DUV）光源以后，化学放大（CAR）技术逐渐成为行业应用的主流。在化学放大光刻胶技术中，树脂是具有化学基团掩护因而难以溶解的聚乙烯。化学放大光刻胶使用光致酸剂（PAG）作为光引发剂。当光刻胶曝光后，曝光区域的光致酸剂（PAG）将会发生一种酸。这种酸在后热烘培工序期间作为催化剂，将会移除树脂的掩护基团从而使得树脂变得易于溶解。化学放大光刻胶曝光速递是DQN光刻胶的10倍，对深紫外光源具有良好的光学敏感性，同时具有高对比度，对高分辨率等优点。

　　光刻胶是集成电路制造的重要质料：光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、制品率及可靠性的要害因素，光刻工艺成本约为整个芯片制造工艺的35%，而且泯灭时间约为整个芯片工艺的40-50%，光刻胶成本约占IC制造质料总成本的4%，市场巨大。据第三方机构智研咨询统计，2019年全球光刻胶市场规模预计近90亿美元，自 2010年至今CAGR约5.4%。预计该市场未来3年仍将以年均5%的速度增长，至2022年全球光刻胶市场规模将凌驾100亿美元。光刻胶行业具有极高的行业壁垒，因此在全球规模其行业都泛起寡头垄断的局面。光刻胶行业长年被日本和美国专业公司垄断。目前前五大厂商就占据了全球光刻胶市场 87%的份额，行业集中度高。其中，日本 JSR、东京应化、日本信越与富士电子质料市占率加和到达72%。而且高分辨率的 KrF 和 ArF 半导体光刻胶焦点技术亦基本被日本和美国企业所垄断，产物绝大多数出自日本和美国公司，如杜邦、JSR 株式会社、信越化学、东京应化工业、Fujifilm，以及韩国东进等企业。整个光刻胶市场花样来看，日本是光刻胶行业的巨头聚集地。目前中国大陆对于电子质料，特别是光刻胶方面对外洋依赖较高。所以在半导体质料方面的国产取代是一定趋势。

　　参考：新质料在线

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